Thickness-dependent properties of indium oxide films

Abstract

Influence de l'epaisseur sur les proprietes des films d'oxyde d'indium. Pour les films transparents a haute conductivite, l'epaisseur est un parametre important. L'effet de l'epaisseur sur les proprietes structurales, electriques et optiques des films conducteurs et transparents d'oxyde d'indium (In 2 O 3 ) a ete etudie. Des films minces d'oxyde d'indium ayant des epaisseurs differentes sont obtenus par evaporation thermique reactive d'un melange d'oxyde d'indium et d'indium metallique. Ces films manifestent une conductivite electrique superieure a 10 3 (Ω.cm) -1 et une transmission optique dans le visible superieure a 80%.