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HMCZ 法による12"φSi 単結晶の育成 : バルク成長 II チョコラルスキー法

栄一飯野健吉澤清隆高野雅規木村浩利山岸正三村岡

Year: 1996 Journal: 日本結晶成長学会誌 Vol: 23 (3)

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Computer science

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