基于X射线吸收光谱全能谱拟合的金属薄膜面密度测量方法

Abstract

提出一种基于X射线吸收光谱(XAS)的全能谱拟合方法,先通过样品元素的衰减系数曲线和射线源的本底能谱曲线获得样品的理论吸收能谱,再将理论吸收能谱与实际穿过样品的吸收能谱进行拟合,由退火算法计算得到薄膜样品的元素面密度值。该方案有效降低了噪声与探测器响应函数引入的误差。实验结果表明,系统在单元素下的测量结果重复测量标准偏差较小,测量不确定度在10-4 g/cm2量级,且能进行多元素薄膜面密度的测量,满足惯性约束聚变实验中对金属薄膜无损与高稳定的测量需求。