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エピタキシャルシリコン中の積層欠陥の観察

高木幹夫伊野弘行安福真民

Year: 1963 Journal: Denki Kagaku oyobi Kogyo Butsuri Kagaku Vol: 31 (6)Pages: 414-416

DOI: 10.5796/kogyobutsurikagaku.31.414

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