Measurement of Surface Profile Using Micro-Coordinate Measuring Machine

Abstract

る．光学素子や成形加工に用いる金型の表面形状は，高精 度かつ面を一括して測定できることから干渉計が広く利用 されている．また，光学素子の設計形状の非球面・自由曲 面化に伴い，走査式の形状測定機が用いられるようになっ てきた． 三次元表面性状の測定・評価には，非接触の表面粗さ計 (または光学式プロファイラ)が用いられ，1 nm オーダの 表面粗さの評価が可能である 1) ．また，30 以上の厳しい 傾斜面を有する光学素子の表面形状測定に対しては，接触 式形状測定機が多く用いられる．近年では，加工技術の発 展，光学機能の要求向上に伴い，10 μm-1 mm 程度の中 空間周波数帯での 10 nm オーダの形状偏差(うねり)の 評価も要求されており 2) ，粗さと形状偏差の両立した測定 技術が必要となってきている．これに加え，自由曲面を測 定する場合，設計式の曲率半径を含めた絶対形状の測定も 求められる． 上