Development and application of indium oxide semiconductor odor sensor

Abstract

におい検知素子の感応材料として酸化インジウム（In2O3）半導体を用い，表面処理などを行って，新しい汎用型のにおい検知素子を開発した．In2O3型検知素子では，応答・復帰特性および湿度特性が改善され，測定時間の短縮と試料中湿度による測定誤差の低減など，実用的に優れた性能を実現した．無臭ガス（H2 （水素），CH4 （メタン）など）に対する感度の抑制も良好である．本報では，In2O3型検知素子の概要について述べ，臭気指数管理のためのポータブル型「ニオイセンサ」の活用および定置型「臭気モニタ」による環境臭気の管理など，アプリケーションについても取り上げる．