Structural, optical and electrical properties of undoped and indium doped zinc oxide prepared by spray pyrolysis

Abstract

Des couches minces transparentes et conductrices d'oxydes de zinc (ZnO) non dopees et dopees indium ont ete elaborees par pulverisation chimique reactive en phase liquide (spray). Les proprietes structurales, optiques et electriques de ces couches ont ete etudiees en fonction de certains parametres experimentaux tel que la temperature du depot et la concentration d'indium dans la solution. L'etude par diffraction X a montre que les couches preparees a des temperatures de depot superieures a 300°C ont une structure hexagonale type wurtzite avec une orientation preferentielle suivant l'axe [002]. Le dopage a l'indium change l'orientation des cristallites suivant la direction [110]. Ce resultat a ete confirme par la microscopie electronique a balayage. La resistivite electrique de l'ordre de 10 -1 Ω.cm et la transmission optique de 80% ont ete obtenues pour des couches preparees dans les conditions optimales: T s = 450°C et In/Zn = 2 at.%.