Formation of nano-pattern on metal using femtosecond laser pulses

Abstract

펨토초 레이저 펄스를 이용하여 Slide glass 위에 코팅된 Al 박막표면에 나노패턴 구조를 생성하였다. 생성된 나노패턴 구조의 공간적 주기는 레이저 강도와 펄스 수에 의존함을 확인하였고, 레이저 강도와 펄스 수를 미세하게 조절함으로써 Al 샘플 표면에 균일한 나노패턴을 형성 시킬 수 있다. 이와 같은 현상은 레이저 입사빔과 샘플 표면에서 산란되는 빛의 광학적 간섭에서 야기 된다. 또한, Al 박막표면 위에 형성된 산화막이 짧은 주기의 나노패턴을 형성하는데 중요한 역할을 수행하는 것을 확인하였다. Femtosecond laser-induced nano-patterning of an Al surface coated on a slide glass is reported in this paper. It was found that the period of the laser-induced nano-patterning was much dependent on the incident laser power and pulse number. Through finely adjusting the laser power and pulse number, uniform nano-patterns could be formed on the Al surface. It is based on the interference of the incident laser beam with some form of a surface scatted electromagnetic wave. It was also found that an Al oxide layer played an important role in forming the nano-patterning on the Al surface.